ニューガラスとは／合成石英ガラス

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気相反応を利用して作製する合成石英ガラスは、泡や異質物がないことはもちろん、その耐熱性や透明性から、多くの産業で広く活用されています。半導体投影露光装置(ステッパー)においては、高い均質性、優れた透明性・耐久性から、レンズやフォトマスクとして使用されます。露光で使われる紫外光は、通常のガラスでは吸収されてしまいますが、このガラスは高い透過性があるのがその理由です。大型で透明性の高い部品を作ることができるのもその特徴で、大きなレンズでは直径が300mmを超えます。高純度石英ガラスは、半導体産業でも欠くことのできない重要な材料の一つなのです。

ICフォトマスク

非球面高精度レンズ